优化洁净工作台空气过滤器的原型是人们为了保护呼吸而使用的呼吸保护器。据记载，早在1世纪罗马，人们在净化水银时就用粗麻制成的面具进行保护。此后很长一段时间，空气过滤器也取得了进展，但它主要用作一些危险行业，如有害化学品的生产。1827年，布朗发现了微粒的运动规律，人们对空气过滤的机理有了进一步的了解。

目前，洁净工作台空气过滤器的快速发展与军事工业和电子工业的发展密切相关。*世界大战期间，由于各种化学毒品的使用，石棉纤维过滤纸作为吸烟层的军用防毒面具应运而生。玻璃纤维过滤介质用于空气过滤，于1940年10月在美国获得。20世纪50年代，美国对玻璃纤维过滤纸的生产工艺进行了深入研究，使空气过滤器得到改善和发展。20世纪60年代，HEPA过滤器问世，所以我们的净化工作台通过HEPA过滤器，过滤效率大大提高。以微细玻璃纤维过滤纸为过滤介质的HEPA过滤器对0.13微米粒径的微粒过滤效率高达9998%。自20年代以来，随着新的测试方法的出现，使用评价的提高，对过滤性能的要求的提高，发现HEPA过滤器存在严重问题，导致ULPA过滤器的性能更高。

滤芯本身的设计也取得了显著的进展，其中最重要的是去除洁净工作台滤芯，即无滤芯的发展。无隔板滤芯不仅消除了损坏滤芯的危险，而且有效地增加了滤芯的过滤面积，提高了过滤效率，降低了气流阻力，从而降低了能耗。另外，空气滤芯在耐高温、耐腐蚀、防水、防菌等方面也取得了长足的进步，满足了一些特殊的需要。