1.风速

a)将低温操作台主滤网或扩散板下游10 cm处的平面面积分成不少于十二个等分的面积，每个中心点作为风速测点。但每个测点的间隔不能超过25厘米；

由各个测点的风速值计算出平均风速和平均风速率。

2.悬浮物的数量。

a)吸入点(对于大于0.5 um的微粒/L)，不得少于35000粒/L；不符合适于在吸入空气中扩散的条件；

b)中心在主滤器或整流栅出口处250 mm处进行5次连续试验，以求平均采样不少于1 L。

3.沉淀菌。

将含有营养琼脂的j90mm培养皿放在工作台操作界面上，然后用0.5 h覆盖测点，用0.5 h覆盖盖，取出培养皿，在30~35℃条件下培养48 h。用肉眼计算可见菌群，取算术平均数。

4.照度

测点布置在洁净工作台的横向中心线上，均匀布置三点，取算术平均数作为低温操作台的照度。

5.检验高效过滤器(PAO)。

在高效过滤器出口两侧约2.5厘米处喷射喷雾喷雾，对高效滤清器上游侧的喷雾器进行扫描和巡视。检出率≤5 cm/s。当上游侧浓度比大于0.01%时，认为下游侧泄漏明显；

6.噪声

低温操作台面前20厘米、高度110 cm (相当于耳位位置与耳位位置相等)的清洁工作台噪声测点。其他局部净化设备的噪声测点位于设备主面几何中心与100 cm高150 cm处。每边测量一面，取四点算术平均值。

7.气流流型。

(a)垂直气流试验。

前窗内侧150 mm高300 mm的烟尘，其位置是从一边壁板移动到另一侧壁板操作区域，清洁工作台下部垂直向下下降的气流，不存在向上气流。

前窗内部工作区深1/2，高达300 mm的烟尘从一边壁板移到另一侧的工作区域，清洁工作台的垂直下降气流在均流板下方呈下降状，无向上流动。

当距作业区150 mm高300 mm处，烟幕从一面壁板移到另一面壁板操作区域时，清洁台面下方的垂直下降气流在均流板下方出现下降，没有向上流动。

横向气流试验。

前窗内部操作区深度1/2，高达300 mm的烟尘从一边壁板移到另一侧的壁板操作区域，低温操作台的水平气流在散流孔前方呈外向型，没有向内气流。